Serambi Kampus
Matriks Satuan Acara Perkuliahan
( SAP )

• Di kampus, sesudah kuliah selama setengah jam
• Di rumah:
  Manyar Kerta Adi 4 No 53
  Surabaya
  * hari: Senin - Jumat
  * sebelum pukul 07.00 WIB

• Serambi DEPAN
• Serambi KAMPUS
• Serambi INFORMASI
• Serambi PUSTAKA
• Serambi INTERNET
• Serambi MADURA
• Serambi PUISI
• Serambi HOBI
• Serambi KLINIK

  
  

• Info Cuaca di Surabaya
• Info Kalender dan
  Waktu Indonesia
• Muslim Prayer Time
• Nusantara-21

• http://w3.to/padepokan
• http://welcome.to/madura
• http://travel.to/kampus

• hosted by
  

• EXIT
  Content is being added
  on monthly basis, so please
  visit often

Teknologi Rangkaian Terintegrasi	3 sks
Semester Genap	tahun 1999/2000
Hari	Jumat
Pukul	13.10

Tujuan Kuliah

Tujuan kuliah Teknologi Rangkaian Terintegrasi agar para mahasiswa dapat mendalami teknologi proses fabrikasi rangkaian terintegrasi (IC)

Bahan Kuliah

Untuk mencapai kuliah seperti tertera di atas tadi, kuliah Teknologi Rangkaian Terintegrasi yang akan diberikan meliputi pokok-pokok: proses fabrikasi/pembuatan rangkaian terpadu (IC); fotolitografi; oksidasi; difusi; implantasi ion; chemical vapor deposition (CVD); evaporasi; cara etching; pembuatan masker; tata letak; aturan perancangan; simulasi perancangan dan pembuatan dengan komputer.

Buku Acuan

VLSI TECHNOLOGY (Second Printing, 1984)

Author: S.M. Sze

Publisher: McGraw-Hill International Book company

INTEGRATED CIRCUIT ENGINEERING

Author: Arthur B. Glaser and Gerald E. Subak-Sharpe

Publisher: Addison-Wesley Publishing Company

FISIKA DAN TEKNOLOGI SEMIKONDUKTOR

Author: S. Reka Rio and Masamori Iida

Publisher: PT Pradnya Paramita

MICROELCTRONIC PROCESSING

Author: W. Scot Ruska

Publisher: McGraw-Hill Book Company

BASIC INTEGRATED CIRCUIT ENGINEERING

Author: Douglas J. Hamilton and William G. Howard

Publisher: McGraw-Hill Kogakusha, Ltd

INTEGRATED ELECTRONICS

Author: Jacob Millman and Christos C. Halkias

Publisher: McGraw-Hill Book Company

Evaluasi

Ujian tengah semester	40 persen
Ujian akhir semester	60 persen
Total	100 persen

Acara Perkuliahan

This section will be developed as the course continues

Minggu ke 01: 10/03/2000	Teknologi rangkaian terintegrasi
Minggu ke 02: 17/03/2000	Proses fabrikasi dasar rangkaian terintegrasi: pertumbuhan kristal substrat, pertumbuhan epitaksial, pertumbuhan silikon dioksida, fotolitografi, pembuatan masker dan etching.
Minggu ke 03: 24/03/2000	Teori difusi: hukum difusi Fick
Minggu ke 04: 31/03/2000	Proses difusi: complementary error function, distribusi Gaussian, solid solubility, koefisien distribusi
Minggu ke 05: 07/04/2000	Proses difusi dua tahap, profil impuriti untuk transistor IC, tata letak transistor IC monolitik
Minggu ke 06: 14/04/2000	Ujian tengah semester
Minggu ke 07: 28/04/2000	Fabrikasi komponen elektronik dalam bentuk IC monolitik: dioda, resistor, kapasitor, dan interkoneksi aluminium
Minggu ke 08: 05/05/2000	Aturan perancangan IC monolitik
Minggu ke 09: 12/05/2000	Perancangan masker untuk: transistor
Minggu ke 10: 19/05/2000	Perancangan masker untuk: kapasitor dan resistor
Minggu ke 11: 26/05/2000	Transistor MOS
Minggu ke 12: 02/06/2000	Konstruksi transistor MOS
Minggu ke 13: 09/06/2000	Implantasi ion
Minggu ke 14: 16/06/2000	Pengaturan implantasi ion
Minggu ke 15: 23/06/2000	Ujian akhir semester